Teori kerja：

Kanthi ngompa tungku sadurunge supaya disedot debu banjur dipanasake nganti suhu disetel, pompa amonia kanggo proses nitridasi, banjur pompa lan pompa maneh, sawise sawetara siklus kanggo nggayuh target ambane nitrida.

Kauntungan:

Dibandhingake karo nitriding gas tradisional. Kanthi aktifitas permukaan logam ing pemanasan vakum, nitriding vakum nduweni kapasitas adsorpsi sing luwih apik, kanggo nggayuh wektu proses sing luwih sithik, kekerasan sing luwih dhuwur,tepatkontrol, konsumsi gas sing luwih sithik, lapisan senyawa putih sing luwih padhet.